Kundenanforderungen: Ein Halbleiterhersteller benötigte für seine fortschrittliche Halbleiterproduktionsanlage eine Reihe maßgeschneiderter Teile aus Aluminiumlegierung.Diese Teile mussten eine extrem hohe Flachheit und Maßgenauigkeit aufweisenZum Beispiel mußte die Oberflächenfläche eines Schlüsselwaferhalters innerhalb von ± 0,002 mm liegen, um die genaue Platzierung und Bewegung der Wafer während des Halbleiterherstellungsprozesses zu gewährleisten.Zusätzlich, müssen die Teile eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und eine minimale Oberflächenrauheit aufweisen, um Störungen bei den hochempfindlichen Halbleiterherstellungsabläufen zu vermeiden.
Lösungen und Bearbeitungsprozesse:
CNC-Fräsen zur Präzisionsformung: Die Aluminiumlegierteile wurden mit einer hochpräzisen CNC-Fräsmaschine geformt, die mit einer stabilen Spindel und einem fortschrittlichen Bewegungssteuerungssystem ausgestattet war.Die Techniker haben sorgfältig die Werkzeugwege entworfen und die Schneidparameter optimiert, um die erforderliche Flachheit und Maßgenauigkeit zu erreichenUm die Oberflächenrauheit zu minimieren, wurden mit Diamanten beschichtete Schneidwerkzeuge eingesetzt und ein mehrstufiges Veredelungsprozess eingeführt.Dazu wurde die Oberfläche fein geflißt und dann sanft poliert, damit sie so glatt wie möglich war.
Qualitätskontrolle und Wärmebehandlung: Nach der ersten Bearbeitung wurden die Teile mit Hilfe fortschrittlicher Messgeräte wie Koordinatenmessmaschinen und Oberflächenprofilometern einer strengen Qualitätskontrolle unterzogen.Alle Teile, die nicht den Anforderungen an die Genauigkeit oder Oberflächenveredelung entsprachen, wurden neu bearbeitetAnschließend wurden die Teile einem Wärmebehandlungsprozess unterzogen, um ihre Wärmeleitfähigkeit zu verbessern und interne Belastungen zu lindern, die möglicherweise während der Bearbeitung hervorgerufen wurden.Diese Wärmebehandlung wurde sorgfältig kalibriert, um sicherzustellen, dass sie nicht die Dimensionsstabilität der Teile beeinträchtigt.
Ergebnisse und Kundenfeedback: Die maßgeschneiderten Teile aus Aluminiumlegierung wurden erfolgreich in die Halbleiterproduktionsanlagen integriert.Die Leistungsfähigkeit der Anlagen und die Produktion von Wafern wurden durch die hochwertigen Komponenten deutlich verbessertDas Halbleiterunternehmen war mit den Bearbeitungsergebnissen und der Liebe zum Detail sehr zufrieden.Sie lobten das Unternehmen für seine Fähigkeit, die anspruchsvollen technischen Spezifikationen der Halbleiterindustrie zu erfüllen, und unterzeichneten einen langfristigen Liefervertrag für zukünftige Komponentenbedürfnisse.
